| Exponát: | Termální disociační zdroj atomů kyslíku pro SEM |
| Výrobce: | Vysoké učení technické v Brně, Ústav fyzikálního inženýrství, FSI, ČR |
| Vystavovatel: | Vysoké učení technické v Brně, Fakulta strojního inženýrství, ČR |
| Umístění: | Pavilon A1, stánek 16 |
Stručná charakteristika exponátu:
Zařízení umožňuje realizovat disociaci molekul kyslíku O2 užitím vysokých teplot 1800oC podmínkách vysokého a ultravysokého vakua. Usměrněné svazky atomů kyslíku s termální energií (0,1-1 eV) nalézající využití při přípravě ultratenkých oxidových vrstev (hight-k), nanostruktur a nízkoteplotních čistících procesech. Navržené zařízení je vhodné pro užití v polovodičovém průmyslu, kde je lze instalovat do MBE komor. Také toto zařízení je velmi vhodné jako příslušenství do elektronových mikroskopů, kde lze například proces oxidace pozorovat v reálném čase, nebo provádět nízkoteplotní čistění povrchu vzorků.
